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超純管道應(yīng)用領(lǐng)域
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超純管道應(yīng)用領(lǐng)域

瀏覽數(shù)量: 669     作者: 本站編輯     發(fā)布時(shí)間: 2023-04-18      來源: 本站

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國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)數(shù)據(jù)顯示,2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為:晶圓制造前端設(shè)備1010億美元,后端封裝設(shè)備77.6億美元,后段測(cè)試設(shè)備87.7億美元


超純管道應(yīng)用領(lǐng)域主要為:


晶圓制程前道,涉及泛半導(dǎo)體,光電子,光伏及電子元器件領(lǐng)域, 具體包含:


  • 刻蝕設(shè)備及薄膜設(shè)備(PVD、CVD)、氧化/擴(kuò)散爐、清洗/退火等設(shè)備品類,可廣泛應(yīng)用于集成電路、先進(jìn)封裝、LED、光伏、MEMS 等多領(lǐng)域

  • CCP 設(shè)備, ICP 刻蝕設(shè)備

  • 化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)設(shè)備

  • CVD 薄膜設(shè)備,  主要產(chǎn)品包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備、原子層沉積(ALD)設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積(SACVD)設(shè)備

  • 離子注入機(jī)

  • 涂膠顯影

  • 清洗設(shè)備

  • 檢測(cè)設(shè)備


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